[实用新型]一种多晶铸锭炉底部保温装置

摘要

一种多晶铸锭炉底部保温装置，包括隔热笼，隔热笼内部顶端设有顶部加热器，顶部加热器下端设有石墨顶板，石墨顶板下端设有坩埚，坩埚外侧设有石墨护板，石墨护板外侧设有侧部加热器，坩埚下端设有石墨底板，石墨护板下端设有DS块，所述DS块上端设有DS块上部保温板，DS块下端设有DS块下部保温板，DS块外侧在DS块上部保温板与DS块下部保温板之间设有DS块中部保温板，所述DS块下端连接石墨支柱，石墨支柱下端设有底座。本装置能够使坩埚底部籽晶预留面积从94%提升到100%，同时使晶锭边缘硅棒晶粒更加垂直，从而提高晶锭质量，降低晶锭杂质点，提高晶锭成品率。

主权项

一种多晶铸锭炉底部保温装置，包括隔热笼（1），隔热笼（1）内部顶端设有顶部加热器（2），顶部加热器（2）下端设有石墨顶板（3），石墨顶板（3）下端设有坩埚（5），坩埚（5）外侧设有石墨护板（6），石墨护板（6）外侧设有侧部加热器（4），坩埚（5）下端设有石墨底板（7），石墨底板（7）下端设有DS块（9），其特征在于，所述DS块（9）上端设有DS块上部保温板（8），DS块（9）下端设有DS块下部保温板（11），DS块（9）外侧在DS块上部保温板（8）与DS块下部保温板（11）之间设有DS块中部保温板（10），所述DS块（9）下端连接石墨支柱（12），石墨支柱（12）下端设有底座（13）。