[实用新型]一种用于生产六英寸区熔气掺单晶的加热线圈有效
| 申请号： | 201620512929.7 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN205774918U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 尚锐刚 | 申请（专利权）人： | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20;H05B6/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于生产六英寸区熔气掺单晶的加热线圈，所述加热线圈为具有内部冷却水路的单匝平板线圈，所述加热线圈的上表面具有3条对称的锯缝，相邻的所述锯缝之间的夹角均为120°，其中1条锯缝的一端延伸至所述加热线圈的外边缘。本申请提供的用于生产六英寸区熔气掺单晶的加热线圈，能够产生均匀的磁场，解决拉晶过程中多晶棒料化料不均、出硅刺和出腰带问题，从而能够进行六英寸气掺单晶的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 英寸 区熔气掺单晶 加热 线圈 | ||
【主权项】：
一种用于生产六英寸区熔气掺单晶的加热线圈，所述加热线圈为具有内部冷却水路的单匝平板线圈，其特征在于，所述加热线圈的上表面具有3条对称的锯缝，相邻的所述锯缝之间的夹角均为120°，其中1条锯缝的一端延伸至所述加热线圈的外边缘。
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