[实用新型]一种六自由度调整装置有效
| 申请号： | 201620519918.1 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN205787593U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李素平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种六自由度调整装置，包括底座和调整机构，所述调整机构包括设置在所述底座上并可在所述底座上移动的基板以及设置在所述基板上的X向调整结构、Y向调整结构和Z向调整结构，所述X向调整结构或所述Y向调整结构至少设有两个，所述Z向调整结构至少设有三个，调整对象设置在所述基板上；本实用新型所述六自由度调整装置实现调整对象的六自由度调整，调整时调整结构无隙传动，提高了定位精度，且所有调整操作均在一个方向执行，调节方便，使得所述六自由度调整装置占用空间小，尤其适合在调整空间受限时使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种六自由度调整装置，其特征在于，包括底座和调整机构，所述调整机构包括滑动设置在所述底座上的基板以及设置在所述基板上的X向调整结构、Y向调整结构和Z向调整结构，所述X向调整结构或所述Y向调整结构至少设有两个，所述Z向调整结构至少设有三个，调整对象设置在所述基板上。
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