[实用新型]一种基于微间隙压力监测的声表面波传感器有效
| 申请号： | 201620520746.X | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN205785612U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王俊;李媛媛;陈柯 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | G01L1/25 | 分类号： | G01L1/25 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于微间隙压力监测的声表面波传感器，包括两块压电材料基片、两块压电材料垫片和两组叉指换能器，两块压电材料垫片连接两块压电材料基片并形成中空的内腔，两组叉指换能器均设于内腔中，且分别固定于两块压电材料基片上。与现有技术相比，本实用新型中空部分两面呈开放式，工艺加工导线引出线可以保证精确，进而提升测量精度，再者两侧基片均设置传感器电路，可实现两面压测的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 间隙 压力 监测 表面波 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于微间隙压力监测的声表面波传感器，其特征在于，包括两块压电材料基片、两块压电材料垫片和两组叉指换能器，所述两块压电材料垫片连接两块压电材料基片并形成中空的内腔，两组叉指换能器均设于内腔中，且分别固定于两块压电材料基片上。
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