[实用新型]晶圆固定装置及晶圆盒

摘要

本实用新型提供了一种晶圆固定装置及晶圆盒，该晶圆固定装置包括框体及设置于所述框体内的多个间隔排列的支撑部，相邻的两个支撑部形成用于固定一晶圆的卡槽。本实用新型提供的晶圆固定装置，由于其具有用于固定晶圆的卡槽，因此应用所述晶圆固定装置，可协助固定晶圆，防止晶圆产生剧烈晃动。将该晶圆固定装置应用于晶圆盒内，可加强晶圆盒对晶圆的固定强度，从而在晶圆的运输过程中，甚至发生撞击时，也可避免晶圆脱离原来的槽位，进而使晶圆的表面造成磨损，甚至破片的现象。

主权项

一种晶圆固定装置，其特征在于：包括框体及设置于所述框体内的多个间隔排列的支撑部，相邻的两个支撑部形成用于固定一晶圆的卡槽，所述框体包括第一挡板、第二挡板以及连接所述第一挡板和第二挡板的连接部，所述第一挡板、第二挡板与所述连接部限定一容置空间，所述支撑部固定于所述容置空间内，所述支撑部平行设置于所述连接部上并与所述连接部连接。