[实用新型]一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具

摘要

本实用新型公开了一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具，包括底座和硅片，所述底座的一端固定安装有第一固定板，所述底座的另一端固定安装有第二固定板，所述第二固定板两边的中部安装有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接于第一固定板两边的中部，所述第二固定板的中部安装有第一垫板，所述第一固定板和第二固定板的下部各安装有两个第一转轴，所述第一转轴均安装有活动臂，所述活动臂下端的外侧安装有第二转轴，所述第一固定板的中部安装有丝杠，所述丝杠的右端安装有轴承，所述轴承的右侧固定安装有第二垫板，所述第二垫板连接于硅片，该实用新型具有操作更简单，工作效率更高，工作更稳定的效果。

主权项

一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具，包括底座（1）和硅片（12），其特征在于：所述底座（1）的一端固定安装有第一固定板（2），所述底座（1）的另一端固定安装有第二固定板（3），所述第一固定板（2）和第二固定板（3）均垂直于底座（1），所述第二固定板（3）两边的中部安装有固定杆（4），所述固定杆（4）的另一端固定连接于第一固定板（2）两边的中部，所述第二固定板（3）的中部安装有第一垫板（5），所述第一固定板（2）和第二固定板（3）的下部各安装有两个第一转轴（7），所述第一转轴（7）均安装有活动臂（8），所述活动臂（8）下端的外侧安装有第二转轴（13），所述第一固定板（2）上的第二转轴（13）和第二固定板（3）上的第二转轴（3）上连接安装有活动杆（6），所述硅片（12）相邻的两边放置于两根固定杆（4）之间，所述硅片（12）的一角放置于两根活动杆（6）之间，所述第一固定板（2）的中部安装有丝杠（9），所述丝杠（9）穿过第一固定板（2）延伸到第一固定板（2）的右侧，所述丝杠（9）的右端安装有轴承（10），所述轴承（10）的右侧固定安装有第二垫板（11），所述第二垫板（11）连接于硅片（12）。