[实用新型]一种应用在碳化硅单晶炉中的氧化锆保温结构有效
| 申请号： | 201620528249.4 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205774932U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 姜守振;李现祥 | 申请（专利权）人： | 姜守振 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 山东众成仁和律师事务所37229 | 代理人： | 牟迅;李晓光 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种应用在碳化硅单晶炉中的氧化锆保温结构，该氧化锆保温结构包括多层不同直径的氧化锆保温桶，每层氧化锆保温桶在高度方向上由多层圆环组接而成，每层圆环由多瓣氧化锆纤维砖环瓣拼接而成，氧化锆纤维砖环瓣由氧化锆纤维烧结制的氧化锆纤维砖制成；氧化锆保温桶的顶部和底部设置氧化锆保温材料包括多层不同厚度的氧化锆保温圆板拼接而成，氧化锆纤维圆板由氧化锆纤维烧结制的氧化锆纤维板制成。本实用新型解决了传统升华法碳化硅单晶炉中使用的碳纤维保温桶结构在使用过程中温场控制困难，高温环境下碳纤维保温桶容易与泄露的Si气氛反应等问题，更加易于调节温场并建立合理温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 碳化硅 单晶炉 中的 氧化锆 保温 结构 | ||
【主权项】：
一种应用在碳化硅单晶炉中的氧化锆保温结构，该氧化锆保温结构包括多层不同直径的氧化锆保温桶（1），每层氧化锆保温桶（1）在高度方向上由多层圆环（3）组接而成，每层圆环（3）由多瓣氧化锆纤维砖环瓣（4）拼接而成，氧化锆纤维砖环瓣（4）由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆纤维砖制成，其特征在于：所述的氧化锆保温桶（1）的顶部和底部设置有氧化锆保温材料，所述氧化锆保温材料在高度方向上包括多层氧化锆保温圆板（2）。
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