[实用新型]一种管式等离子增强化学气相沉积设备的炉体装置

摘要

本实用新型公开了一种管式等离子增强化学气相沉积设备的炉体装置，包括石英炉体，所述石英炉体上部中间位置连通有真空泵管道，所述石英炉体上部和下部连接有加热装置，所述石英炉体的左端上侧和右端下侧均连通有特气管道，所述特气管道的一端活动插接有转轮页，所述特气管道上设有气动蝶阀，所述石英炉体的右端设有门装置，所述石英炉体内设有石墨舟，所述石墨舟上设有电极片，所述电极片的两侧均设有基片放置口。该设有的两个特气管道可以从石英炉体的两端进行进气，避免了一侧进气造成工艺气体分布不均匀的现象，且特气管道上设有的转轮页更好的使工艺气体以自然风的形式进入石英炉体内，有效提高了产品质量。

主权项

一种管式等离子增强化学气相沉积设备的炉体装置，包括石英炉体（3），其特征在于：所述石英炉体（3）上部中间位置连通有真空泵管道（1），所述石英炉体（3）上部和下部连接有加热装置（2），所述石英炉体（3）的左端上侧和右端下侧均连通有特气管道（6），所述特气管道（6）的一端活动插接有转轮页（7），所述特气管道（6）上设有气动蝶阀（5），所述石英炉体（3）的右端设有门装置（4），所述石英炉体（3）内设有石墨舟（10），所述石墨舟（10）上设有电极片（9），所述电极片（9）的两侧均设有基片放置口（8）。