[实用新型]基板清洗装置有效
| 申请号： | 201620533858.9 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN205833737U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 陈欢;戴玉梅 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基板清洗装置，包括超音波震荡构件，清洗液供给部件和基板运送装置，待清洗基板位于基板运送装置上并沿着预置方向移动，超音波震荡构件位于基板运送装置的上方，待清洗基板位于超音波震荡构件与基板运送装置之间，清洗液供给部件靠近待清洗基板沿着预置方向移动的起始侧，本实用新型的基板清洗装置既能完成对玻璃基板的超音波清洗作业，同时也不会出现玻璃基板与运送滚轮打滑，使玻璃基板运送偏移，导致撞片破损现象的发生，还能完成玻璃基板顺利向前传送的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种基板清洗装置，包括超音波震荡构件，清洗液供给部件和基板运送装置，待清洗基板位于所述基板运送装置上并沿着预置方向移动，其特征在于：所述超音波震荡构件位于所述基板运送装置的上方，所述待清洗基板位于所述超音波震荡构件与所述基板运送装置之间，所述清洗液供给部件靠近所述待清洗基板沿着预置方向移动的起始侧。
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