[实用新型]气体锁验证仪有效
| 申请号： | 201620536564.1 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN205844738U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 陈进新;崔惠绒;张立佳;谢婉露;吴晓斌;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 乔东峰 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气体锁验证仪，其包括分别连接所要试验的气体锁两端的模拟清洁真空腔室和模拟超清洁真空腔室。模拟清洁真空腔室中有污染发射源，用于发射模拟污染物，该模拟污染物用于模拟诸如极紫外光刻机中硅片表面产生的污染物；模拟超清洁真空腔室中配置有测量腔内气体组分和分压的设备。模拟清洁真空腔室和模拟超清洁真空腔室上分别布置有真空计组。本实用新型能有效验证气体锁的抑制效果。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 验证 | ||
【主权项】：
一种气体锁验证仪，包括模拟清洁真空腔室和模拟超清洁真空腔室，所述模拟清洁真空腔室(5)和模拟超清洁真空腔室(6)分别连接被试气体锁(L)的两个开口端，其中，所述模拟清洁真空腔室中通过支撑架固定一污染发射源(7)，用于模拟产生污染物；所述模拟超清洁真空腔室中配置有测量腔内气体组分和分压的设备。
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