[实用新型]指纹感测器

摘要

指纹感测器。本实用新型的各种方面提供各种指纹感测器装置，所述指纹感测器装置包括互连结构，例如接合线，所述互连结构的至少一部分延伸到用来安放板的介电层中，和/或所述指纹感测器装置包括互连结构，所述互连结构从自所述板侧向地偏移的位置处的半导体裸片向上延伸。

主权项

一种指纹感测器装置，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有衬底顶面、衬底底面以及在所述衬底顶面与所述衬底底面之间的衬底侧面，所述衬底包括在所述衬底顶面上的导电层；半导体裸片，所述半导体裸片具有裸片顶面、裸片底面以及在所述裸片顶面与所述裸片底面之间的裸片侧面，所述半导体裸片包括在所述裸片顶面上的接合垫；导电互连结构，所述导电互连结构电连接所述接合垫与所述导电图案；介电层，所述介电层具有介电层顶面、耦合到所述裸片顶面的介电层底面、以及在所述介电层顶面与所述介电层底面之间的介电层侧面；板，通过所述板感测指纹，所述板具有板顶面、耦合到所述介电层顶面的板底面、以及在所述板顶面与所述板底面之间的板侧面；以及包封材料，所述包封材料覆盖所述衬底顶面、所述裸片侧面以及所述导电互连结构。