[实用新型]一种组合式晶舟盒提篮

摘要

本实用新型公开了一种组合式晶舟盒提篮，包括：机械勾手把手1、支撑杆2、固定用螺母3、活动导轨4、固定卡扣5、上边框6、固定用螺丝7、活动卡扣8、下边框9，上、下边框均与机械勾手把手1固定，用于承载晶舟盒；所述机械勾手把手1位于提篮两侧，用于固定上、下边框和在晶片清洗时夹持提篮；所述固定卡扣5与下边框9固定，所述活动卡扣8与上边框6固定，固定卡扣5和活动卡扣8均用于晶舟盒的定位与固定。本实用新型的提篮具备承载多层晶舟盒、多规格蓝宝石晶片的功能，可用于蓝宝石晶片的清洗，能实现多层晶舟盒、多规格蓝宝石晶片的同时清洗，大大提高了工作效率和清洗机的产能，缩短了清洗周期，降低了生产成本。

主权项

一种组合式晶舟盒提篮，用于承载不少于两层的晶舟盒，所述晶舟盒用于承载晶片，其特征在于：提篮包括：机械勾手把手（1）、支撑杆（2）、固定用螺母（3）、条形导轨（4）、固定卡扣（5）、上边框（6）、固定用螺丝（7）、活动卡扣（8）、下边框（9）；其中上边框（6）和下边框（9）均与机械勾手把手（1）固定配合，用于支撑晶舟盒，所述机械勾手把手（1）位于提篮两侧，用于固定上边框（6）、下边框（9）及在晶片清洗时夹持提篮，所述固定卡扣（5）与下边框（9）固定，所述活动卡扣（8）与上边框（6）固定，固定卡扣（5）与活动卡扣（8）具备定位、固定晶舟盒的功能。