[实用新型]石墨舟有效
申请号: | 201620544106.2 | 申请日: | 2016-06-07 |
公开(公告)号: | CN205863151U | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 申请(专利权)人: | ||
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人: | 刘宏亮 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石墨舟,包括位于两端的上舟脚以及下舟脚、位于两侧与下舟脚相连接的直角外舟片、等距设置于两侧直角外舟片之间的若干圆弧角内舟片,圆弧角内舟片与上舟脚相连接,直角外舟片与圆弧角内舟片之间穿插有若干横向设置的陶瓷管,直角外舟片与圆弧角内舟片的两侧分别设置有若干卡点,卡点呈菱形或者两端带有圆弧的矩形,下舟脚上设置有用于清理石墨舟内的硅片残渣的清理机构,清理机构包括吸尘管、与吸尘管通过清理管道相连接的负压风机,吸尘管的两端闭合,吸尘管的侧壁上开设有吸尘口,吸尘口正对石墨舟的空腔,通过设置清理机构能够自动清理石墨舟内的硅片碎片。 | ||
搜索关键词: | 石墨 | ||
【主权项】:
一种石墨舟,其特征在于:包括位于两端的上舟脚以及下舟脚、位于两侧与所述下舟脚相连接的直角外舟片、等距设置于两侧所述直角外舟片之间的若干圆弧角内舟片,所述圆弧角内舟片与所述上舟脚相连接,所述直角外舟片与所述圆弧角内舟片之间穿插有若干横向设置的陶瓷管,所述直角外舟片与所述圆弧角内舟片的两侧分别设置有若干卡点,所述卡点呈菱形或者两端带有圆弧的矩形,所述下舟脚上设置有用于清理石墨舟内的硅片残渣的清理机构,所述清理机构包括吸尘管、与所述吸尘管通过清理管道相连接的负压风机,所述吸尘管的两端闭合,所述吸尘管的侧壁上开设有吸尘口,所述吸尘口正对石墨舟的空腔。
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