[实用新型]正负压发生装置有效
申请号: | 201620545367.6 | 申请日: | 2016-06-07 |
公开(公告)号: | CN205679875U | 公开(公告)日: | 2016-11-09 |
发明(设计)人: | 王旭升;嵇永康 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种正负压发生装置,其用于放置玻璃基板,其包括:玻璃载台,其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板;真空发生器,其与玻璃载台的若干通孔连通;及气动阀门,其与真空发生器连通;当真空发生器打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压,当气动阀门打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。与现有技术相比,正负压发生装置内的玻璃载台上设有通孔,以及与通孔连通的真空发生器及气动阀门,真空发生器及气动阀门分别工作时,可以在玻璃基板及玻璃载台之间形成负压及正压,从而实现玻璃载台对玻璃基板的吸附及释放。 | ||
搜索关键词: | 正负 发生 装置 | ||
【主权项】:
一种正负压发生装置,其用于放置玻璃基板,其特征在于:其包括:玻璃载台,其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板;真空发生器,其与玻璃载台的若干通孔连通;及气动阀门,其与真空发生器连通;当真空发生器打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压,当气动阀门打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。
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