[实用新型]正负压发生装置有效

专利信息
申请号: 201620545367.6 申请日: 2016-06-07
公开(公告)号: CN205679875U 公开(公告)日: 2016-11-09
发明(设计)人: 王旭升;嵇永康 申请(专利权)人: 昆山国显光电有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 许志勇
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种正负压发生装置,其用于放置玻璃基板,其包括:玻璃载台,其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板;真空发生器,其与玻璃载台的若干通孔连通;及气动阀门,其与真空发生器连通;当真空发生器打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压,当气动阀门打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。与现有技术相比,正负压发生装置内的玻璃载台上设有通孔,以及与通孔连通的真空发生器及气动阀门,真空发生器及气动阀门分别工作时,可以在玻璃基板及玻璃载台之间形成负压及正压,从而实现玻璃载台对玻璃基板的吸附及释放。
搜索关键词: 正负 发生 装置
【主权项】:
一种正负压发生装置,其用于放置玻璃基板,其特征在于:其包括:玻璃载台,其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板;真空发生器,其与玻璃载台的若干通孔连通;及气动阀门,其与真空发生器连通;当真空发生器打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压,当气动阀门打开后,所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。
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