[实用新型]一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构

摘要

本实用新型涉及一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘，储液盘内设有储液槽，支撑架上设有若干输液管，上基盘顶部设有法兰盘，法兰盘上设有若干支撑柱，上基盘与储液盘之间设有若干导液管，上固结磨料磨盘上设有若干通孔，第二转轴外设有外齿轮，第二转轴外设有支撑座，支撑座上设有若干下基盘支撑，下基盘底部设有若干凹槽，下基盘上设有下固结磨料磨盘，支撑筒上设有若干内齿；本实用新型利于降低生产成本，减少晶片划痕，提高晶片质量和加工效率。

主权项

一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构，包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘，其特征为，所述储液盘内设有储液槽，所述第一转轴底部与储液盘相连，所述第一转轴外设有支撑架，所述支撑架上设有若干输液管，所述若干输液管底部置于储液槽内，且绕储液盘一周均匀间隔设置，所述输液管上设有截流阀；所述上基盘顶部设有法兰盘，所述法兰盘上设有若干支撑柱，所述若干支撑柱绕法兰盘一周均匀间隔设置，且顶部与储液盘相连，所述上基盘与储液盘之间设有若干导液管，所述导液管与储液槽连通，所述上固结磨料磨盘顶部与上基盘底部相连，所述上固结磨料磨盘和上基盘中心均设有轴孔，所述上固结磨料磨盘上设有若干通孔，所述若干通孔与导液管对应连通；所述第二转轴置于支撑筒中心，且与轴孔相对设置，所述第二转轴外设有外齿轮，所述第二转轴外设有支撑座，所述支撑座上设有若干下基盘支撑，所述下基盘底部设有若干凹槽，所述凹槽与下基盘支撑配合，所述下基盘上设有下固结磨料磨盘，所述支撑筒上设有若干内齿，所述若干内齿与外齿轮在同一水平面上。