[实用新型]双面曝光机的自动调焦系统有效

专利信息
申请号: 201620549850.1 申请日: 2016-06-08
公开(公告)号: CN206270649U 公开(公告)日: 2017-06-20
发明(设计)人: 杨文 申请(专利权)人: 江苏影速光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;H05K3/00
代理公司: 徐州市三联专利事务所32220 代理人: 周爱芳
地址: 221600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种双面曝光机的自动调焦系统,从左到右依次为左DMD、左成像镜筒、左物镜镜筒、右物镜镜筒、右成像镜筒和右DMD,PCB板竖直放置于右物镜镜筒和左物镜镜筒之间,所述的右物镜镜筒安装在微型电动旋转平台上,所述的右DMD安装在微型Z轴电动位移平台。本实用新型对PCB板进行双面同时曝光,可以大幅度缩短曝光流程时间,一路光路系统完全固定,另一路光学系统电控调节,满足不同板厚的PCB板实现双面同时曝光。
搜索关键词: 双面 曝光 自动 调焦 系统
【主权项】:
一种双面曝光机的自动调焦系统,其特征在于,从左到右依次为左DMD、左成像镜筒、左物镜镜筒、右物镜镜筒、右成像镜筒和右DMD,PCB板竖直放置于右物镜镜筒和左物镜镜筒之间,所述的右物镜镜筒安装在微型电动旋转平台上,所述的右DMD安装在微型Z轴电动位移平台。
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