[实用新型]直写式曝光机光源系统有效
| 申请号： | 201620549859.2 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN206270651U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 杨文 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直写式曝光机光源系统，包括光源光路、传导光纤以及分光光路；所述的光源光路采用UVLED作为光源、UVLED发出的光束通过传导光纤接入分光光路进行分光，分光后的光路利用光纤接入各个曝光光路；光源光路中的述UVLED发射光束经微透镜阵列、光路组件进行整形后利用光纤准直器一进行准直光束、光束通过光纤Ⅰ接入分光光路；本实用新型本实用新型采用UVLED提供高稳定，高寿命，高能量的光源，利用光学镜片将光耦合到光纤中进行传输，光纤末端接入到一分四分光光路中，进行分光，通过分光系统中的玻片，可以实现四组光路出射能量的高度一致性，然后再通过光纤将四组出射光分别连接到曝光光路中。 | ||
| 搜索关键词： | 直写式 曝光 光源 系统 | ||
【主权项】：
一种直写式曝光机光源系统，其特征在于，包括：光源光路（27）、传导光纤以及分光光路（28）；所述的光源光路（27）采用UVLED（1）作为光源、UVLED（1）发出的光束通过传导光纤接入分光光路（28）进行分光，分光后的光路利用光纤接入各个曝光光路。
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