[实用新型]一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板有效
| 申请号： | 201620552370.0 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN205687998U | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈孟财 | 申请（专利权）人： | 光宏光电技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 曾新浩 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板，所述掩模板包括ITO面和蒸镀面，所述蒸镀面上设有的纳米层，所述蒸镀面上设有弧形槽，所述ITO面上设有蒸镀孔，所述蒸镀孔与所述弧形槽相连通，所述蒸镀孔在ITO面开口的尺寸小于所述弧形槽相在蒸镀面的开口的尺寸，蒸镀孔开设在弧形槽内，非常方便蒸镀孔的加工，弧形槽具有一定的高度，使得蒸镀孔的高度可以进一步的降低，从而保证了更好的蒸镀效果，提高了有机材料的成膜率，提高了蒸镀薄膜的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 oled 显示 面板 模板 | ||
【主权项】：
一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板，其特征在于，所述掩模板包括ITO面和蒸镀面，所述蒸镀面上设有的纳米层，所述蒸镀面上设有弧形槽，所述ITO面上设有蒸镀孔，所述蒸镀孔与所述弧形槽相连通，所述蒸镀孔在ITO面的开口的尺寸小于所述弧形槽在蒸镀面的开口的尺寸。
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