[实用新型]一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道有效
| 申请号： | 201620557701.X | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN205821440U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张钧;戴步实;王宇 | 申请（专利权）人： | 沈阳大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司21205 | 代理人： | 赵越 |
| 地址： | 110044 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道，涉及一种离子镀设备装配管道，其特征在于，所述管道为L形管道，管道内部直角部分为圆弧状，L形管（3）焊接在阴极弧源底座（2）上，阴极弧源底座与炉体连接。该阴极弧源冷却水输入输出的管道为L形管道，管道内采用圆弧过渡，减少阻力，且不易沉积杂质，保证冷却水畅通。将阴极弧源冷却水输入输出的管道改造成L形管道可以方便地拆卸阴极弧源磁场控制元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子镀 阴极 冷却水 输入输出 管道 | ||
【主权项】：
一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道，其特征在于，所述管道包括阴极弧源底座与多弧离子镀设备炉体的连接处（1），阴极弧源底座（2）， L形阴极弧源冷却水输入输出的管道（3），阴极弧源磁场控制元件（4）；管道为L形管道，管道内部直角部分为圆弧状，L形管焊接在阴极弧源底座（2）上，阴极弧源底座与炉体连接。
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