[实用新型]固定多弧离子镀阴极靶座与限弧套筒相对位置的陶瓷环有效
| 申请号： | 201620557704.3 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN205821441U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张钧;赵微;戴步实 | 申请（专利权）人： | 沈阳大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司21205 | 代理人： | 赵越 |
| 地址： | 110044 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 固定多弧离子镀阴极靶座与限弧套筒相对位置的陶瓷环，涉及一种离子镀设备的辅助构件，固定多弧离子镀阴极靶座与限弧套筒相对位置的陶瓷环，阴极靶座固定在限弧套筒的中心，磁环呈圆柱体，圆柱体的中心位置呈凸起的台状，陶瓷环（1）固定在阴极靶座（2）和限弧套筒（3）之间，阴极靶座（2）通过螺栓固定在炉体（5）上，炉体（5）和阴极靶座（2）之间有一个塑料绝缘环（4）。陶瓷环材质为绝缘陶瓷，该陶瓷环能够方便地将阴极靶座固定在限弧套筒的中心位置，这样就节省每次安装阴极靶座和限弧套筒需要人工调整阴极靶座和限弧套筒间距离的时间，保证阴极靶座和限弧套筒的相对位置，防止阴极靶座和限弧套筒连接，防止人为失误。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 离子镀 阴极 套筒 相对 位置 陶瓷 | ||
【主权项】：
固定多弧离子镀阴极靶座与限弧套筒相对位置的陶瓷环，其特征在于，所述固定多弧离子镀阴极靶座与限弧套筒相对位置的陶瓷环，阴极靶座固定在限弧套筒的中心，磁环呈圆柱体，圆柱体的中心位置呈凸起的台状；陶瓷环（1）固定在阴极靶座（2）和限弧套筒（3）之间，阴极靶座（2）通过螺栓固定在炉体（5）上，炉体（5）和阴极靶座（2）之间有一个塑料绝缘环（4）。
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