[实用新型]多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压直管装置

摘要

多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压直管装置，属于材料表面处理技术领域，本实用新型为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对管内壁污染的清理和等离子体传输过程中的损失问题。本实用新型的装置包括偏压电源、弧电源、电弧离子镀靶源、多级磁场装置、多级磁场电源、内衬正偏压直管装置、正偏压电源、样品台、偏压电源波形示波器和真空室，二、薄膜沉积待真空室内的真空度小于10‑4Pa时，通入工作气体并调整气压，开启镀膜电源，同时通过偏压电源对复合等离子体的能量进行调节，通过内衬正偏压直管装置来进一步消除多级磁场装置中的大颗粒缺陷和提高电弧等离子体在多级磁场装置的传输效率，设置所需的工艺参数，进行薄膜沉积。

主权项

多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压直管装置，其特征在于，该装置包括偏压电源1、弧电源2、电弧离子镀靶源3、多级磁场装置4、多级磁场电源5、内衬正偏压直管装置6、正偏压电源7、样品台8、偏压电源波形示波器9和真空室10，内衬正偏压直管装置6接正偏压电源7的输出端，内衬正偏压直管装置6与真空室10和多级磁场装置4之间绝缘；待处理基体工件置于真空室10内的样品台8上，工件和样品台8接偏压电源1的输出端，电弧离子镀靶源3安装在真空室10上，接弧电源2的输出端，多级磁场装置4的各级磁场接多级磁场电源5的各个输出端，内衬正偏压直管装置6接正偏压电源7的输出端，内衬正偏压直管装置6与真空室10和多级磁场装置4之间绝缘。