[实用新型]一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构有效
| 申请号： | 201620566617.4 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN205711044U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 郑清超;高宇;杨昆;李霄 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 郝学江 |
| 地址： | 071051 河北省保定市北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新涉及一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，包括坩埚，测温孔护套、发热体、顶保温层、侧保温层、底保温层；所述的发热体位于坩埚外周、并包围住坩埚的侧面和底面；所述的顶保温层位于坩埚上方；所述的顶保温层中心开有测温孔；所述的测温孔护套安放在顶保温层测温孔内；所述的侧保温层、底保温层分别位于发热体外围和底部。本实用新型的有益效果是：测温孔护套阻隔坩埚泄露的SiC蒸汽沿测温孔的输运，避免了测温孔内因SiC结晶造成的堵塞，有利于保证在整个晶体生长过程能够准确的测量坩埚温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 顶部 保温 中心 测温 堵塞 结构 | ||
【主权项】：
一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，其特征在于：包括坩埚，测温孔护套、发热体、顶保温层、侧保温层和底保温层；所述的发热体位于坩埚外周、并包围住坩埚的侧面和底面；所述的顶保温层位于坩埚上方；所述的顶保温层中心开有测温孔；所述的测温孔护套安放在顶保温层测温孔内；所述的侧保温层、底保温层分别位于发热体外围和底部。
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