[实用新型]平行板干式电容压力传感器

摘要

一种平行板干式电容压力传感器，解决了现有传感器制作工艺要求比较难，不易满足精密测控压力要求，成品率低等问题，包括壳体，组装壳体内的平面板式定电极、动电极，其技术要点是：定电极的蓝宝石绝缘子与焊接块通过银铜钎焊层固定连接，绝缘子底面真空镀接平面金属电极、绝缘层；由膜片与电极板的底部整面固定成的动电极，与定电极平行设置在由支撑套和连接座封接的腔体内，支撑套和连接座分别接触膜片边缘波纹的上、下波峰；各配件之间通过刃口焊接。其结构设计合理，制作工艺简单，材料来源广，加工质量好，平行板电极线性优，与同类产品相比，同样厚的膜片，量程精度高，抗震性能稳定，耐腐蚀，显著提高生产效率和使用寿命，降低制造成本。

主权项

一种平行板干式电容压力传感器，包括壳体，组装在壳体内的平面板式定电极和平面板式动电极，其特征在于：所述平面板式定电极的封接有引出电极的蓝宝石绝缘子与作为外壳的焊接块，通过银铜钎焊层固定连接在一起，在蓝宝石绝缘子修整的底面真空镀接平面金属电极和平面绝缘层；由恒弹性合金波纹膜片与电极板的底部整面固定连接构成的平面板式动电极，与平面板式定电极相互平行设置在由恒弹性支撑套和恒弹性连接座封接的高气密性腔体内，蓝宝石绝缘子与恒弹性支撑套之间设置有平面板式动电极移动的伸缩空间，并使恒弹性支撑套和恒弹性连接座分别接触恒弹性合金波纹膜片环绕在电极板外周边缘波纹的上波峰或下波峰；外壳的恒弹性支撑套与恒弹性连接座之间或恒弹性支撑套与焊接块之间通过消应力刃口焊接。