[实用新型]一种用于测量物件尺寸的测量装置有效
| 申请号： | 201620567526.2 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN205808357U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 周峰;谭晓军;杜勇刚;魏荣财;邓崇凯;陈博 | 申请（专利权）人： | 东莞市普密斯精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司44215 | 代理人： | 肖冬 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于测量物件尺寸的测量装置。测量装置包括：光源，用以产生低相干光；光纤耦合器，用于实现光信号的分路和合路；光纤，用于传输光信号；载物装置，用于盛放被测物；检测光纤准直仪，用于将光纤的光投射到载物装置的基准面或位于载物装置的被测物，以及将载物装置的基准面或被测物反射的光耦合至光纤内；光路反射装置，可改变光程且将光信号原路反射；光信号检测处理装置，用于检测光信号是否发生干涉，并与光路反射装置连接，计算两次发生干涉时光程的改变量。本实用新型取得的有益效果：根据低相干光的干涉特性调整参考光程，通过光程差得出被测物厚度，该测量装置简单且精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 物件 尺寸 装置 | ||
【主权项】：
用于测量物件尺寸的测量装置，其特征在于：包括：光源，用以产生低相干光；光纤耦合器，用于实现光信号的分路和合路；光纤，用于传输光信号；载物装置，用于盛放被测物；检测光纤准直仪，用于将光纤的光投射到载物装置的基准面或位于载物装置的被测物，以及将载物装置的基准面或被测物反射的光耦合至光纤内；光路反射装置，可改变光程且将光信号原路反射；光信号检测处理装置，用于检测光信号是否发生干涉，并与光路反射装置连接，计算两次发生干涉时光程的改变量。
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