[实用新型]一种45对棒紧凑型多晶硅还原炉

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产制造领域，公开了一种45对棒紧凑型多晶硅还原炉，包括底盘、炉体、封头、进气管、出气管、进气口、出气口、电极以及硅芯；电极共有45对，在底盘上呈5圈环形周期分布，从里到外分别为3对、6对、8对、12对、16对，其中内两圈电极的圈间距离相等，外三圈电极的圈间距离相等；进气口均匀分布于相邻各圈电极之间；出气口分布于底盘中心位置以及第三圈电极与第四圈电极之间。本实用新型解决了由于炉型过大产生的炉体内气体流动不稳定造成的生长不稳定问题，能够合理利用热能，显著提高单炉多晶硅产量，降低能耗。

主权项

一种45对棒紧凑型多晶硅还原炉，包括底盘、炉体、封头、进气管、出气管、进气口、出气口、电极以及硅芯；封头设于炉体上，炉体罩设于底盘上；进气管与进气口连接，进气口连通到炉体内；出气管与出气口连接，出气口分布于底盘上；电极成对地设置在底盘上，硅芯通过石墨夹头安装在每对电极上；其特征在于，所述电极共有45对，在底盘上呈5圈环形周期分布，从里到外分别为3对、6对、8对、12对、16对，其中内两圈上相邻电极之间的距离相等，外三圈上相邻电极之间的距离相等。