[实用新型]振膜及应用该振膜的MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201620577283.0 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN205847597U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 孟珍奎;王琳琳;刘政谚;钟晓辉;刘雨薇 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（新加坡）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 长沙市阿凡提知识产权代理有限公司43216 | 代理人： | 许立举 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种振膜及应用该振膜的MEMS麦克风，所述振膜上设有位于所述振膜边缘的第一声孔群和第二声孔群，所述第一声孔群中各个声孔的圆心的连线所在的圆与第二声孔群中各个声孔的圆心的连线所在的圆为同心圆，所述第一声孔群中的任意一个或相邻的两个声孔与第二声孔群中相对的声孔组成的三角形为等腰三角形。本实用新型提高了振膜及MEMS麦克风的声学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种振膜，其特征在于：所述振膜上设有位于所述振膜边缘的第一声孔群和第二声孔群，所述第一声孔群中各个声孔的圆心的连线所在的圆与第二声孔群中各个声孔的圆心的连线所在的圆为同心圆，所述第一声孔群中的任意一个或相邻的两个声孔与第二声孔群中相对的声孔组成的三角形为等腰三角形。
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