[实用新型]一种原位测试样品台

摘要

本实用新型公开一种原位测试样品台，包括显微镜腔室、透射电子显微镜TEM样品杆、电子束发射枪、二次电子探头、聚焦离子束发射枪、背散射电子探头和电子背散射探头，显微镜腔室的前表面和后表面之间设置有腔室，背散射电子探头、聚焦离子束发射枪穿设于第二侧面上，上表面上穿设有电子束发射枪，第一侧面上穿设有聚焦离子束发射枪，第四侧面上设置有第一法兰孔，第三侧面上设置有第二法兰孔，TEM样品杆安装于第一法兰孔或第二法兰孔。本实用新型能使聚焦离子束电子束显微镜与透射电镜能结合起来使用，从块体材料切取后能无污染的、无人为因素损伤的直接转移到透射电镜样品台，并结合两者的显微分析功能实现纳米尺度、原子尺度的原位测试分析。

主权项

一种原位测试样品台，其特征在于：包括显微镜腔室、透射电子显微镜TEM样品杆、电子束发射枪、二次电子探头、聚焦离子束发射枪、背散射电子探头和电子背散射探头，所述显微镜腔室的前表面和后表面之间设置有腔室，所述显微镜腔室的上表面的左侧设置有第一侧面和第二侧面，所述显微镜腔室的上表面的右侧设置有第三侧面和第四侧面，所述显微镜腔室的上表面和所述显微镜腔室的下表面平行，所述第一侧面与所述显微镜腔室的下表面垂直且相交，所述第三侧面与所述显微镜腔室的下表面垂直且相交，所述第二侧面设置在所述第一侧面与所述显微镜腔室的上表面之间，所述第四侧面设置在所述第三侧面与所述显微镜腔室的上表面之间，所述第一侧面和所述第二侧面的夹角为钝角，所述第三侧面与所述第四侧面的夹角为钝角，所述聚焦离子束发射枪穿设于所述第二侧面上，所述显微镜腔室的上表面上穿设有所述电子束发射枪，所述第一侧面上穿设有所述聚焦离子束发射枪和电子背散射探头，所述第四侧面上设置有第一法兰孔，所述第三侧面上设置有第二法兰孔，所述TEM样品杆安装于第一法兰孔或第二法兰孔，所述TEM样品杆的样品端、电子束发射枪的发射端、二次电子探头、聚焦离子束发射枪、背散射电子探头和电子背散射探头的均位于所述腔室内。