[实用新型]一种在线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置

摘要

一种在线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置，包括第一传送带和第二传送带，第一传送带和第二传送带的传送方向相互垂直设置，第一传送带和第二传送带的传送平面位于同一水平面上；对应于同一个上料端设置有第一传送带组，每个第一传送带组包括至少一条第一传送带；每个第一传送带组的输出端设置有一第二传送带组，所述第一传送带组的输出端与第二传送带组的一侧边相衔接；每个第二传送带组中，各相邻第二传送带之间设置有第三传送带组，第三传送带的传送方向与第一传送带相同；对应于所述硅片，还设置有传感器以感知硅片的所在位置；对应于每片硅片的至少一条待测试边缘设置有一对欧姆表的表笔，表笔与一驱动机构连接。

主权项

一种在线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置，其特征在于：包括第一传送带和第二传送带，第一传送带和第二传送带的传送方向相互垂直设置，第一传送带和第二传送带的传送平面位于同一水平面上；对应于同一个上料端设置有第一传送带组，每个第一传送带组包括至少一条第一传送带；每个第一传送带组的输出端设置有一第二传送带组，每个第二传送带组包括至少两条平行且间隔布置的第二传送带，所述第一传送带组的输出端与第二传送带组的一侧边相衔接；每个第二传送带组中，各相邻第二传送带之间设置有第三传送带组，每个第三传送带组包括至少一条平行且间隔布置的第三传送带，第三传送带的传送方向与第一传送带相同，第三传送带的传送平面与第一传送带及第二传送带的传送平面位于同一水平面上；对应于所述硅片，还设置有传感器以感知硅片的所在位置；对应于每片硅片的至少一侧待测试边缘设置有一对欧姆表的表笔，表笔的测试端垂直于硅片的待测试边缘，所述表笔与一驱动机构连接，该驱动机构驱动表笔靠近及远离硅片表面。