[实用新型]一种用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置有效
| 申请号： | 201620581900.4 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN205741286U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张新峰 | 申请（专利权）人： | 张新峰 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B7/10 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 郑志强 |
| 地址： | 226541 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置，所述反应釜本体的顶部设置有开口，并在开口上安装有液封盖，所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部，并在转轴前端设置设置有夹持件，所述的夹持件设置于生长液盛放槽内部，生长液盛放槽通过若干支杆连接在反应釜本体的内壁，所述的反应釜本体内底部通过支撑座连接有搅拌装置，所述的搅拌装置上设置有加热丝，在反应釜本体外底部设置有底座，所述的反应釜本体内腔内设置有温度感应器。通过装置上的设计大大提升了IGBT碳化硅晶体籽料在生长过程中，使得籽料生长均匀稳定，整个装置操作稳定，使用方便，可被进一步推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 igbt 碳化硅 晶体管 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种用于IGBT碳化硅晶体管的制备装置，包括反应釜本体、转轴、生长液盛放槽、搅拌装置、底座、温度感应器，其特征在于，所述反应釜本体的顶部设置有开口，并在开口上安装有液封盖，所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部，并在转轴前端设置设置有夹持件，所述的夹持件设置于生长液盛放槽内部，生长液盛放槽通过若干支杆连接在反应釜本体的内壁，所述的反应釜本体内底部通过支撑座连接有搅拌装置，所述的搅拌装置上设置有加热丝，在反应釜本体外底部设置有底座，所述的反应釜本体内腔内设置有温度感应器。
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