[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620583798.1 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN205662590U | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李元虎;郭书鹏;邹清华;王玉 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀装置，包括对蒸镀材料进行加热以产生蒸镀气体的坩埚，以及使得蒸镀气体从所述坩埚中喷出的多个喷嘴，所述蒸镀装置还包括与所述喷嘴一一对应、用于监测对应喷嘴是否堵塞的监测感应器。本实用新型的有益效果是：及时的判断是否有喷嘴堵塞，且准确的判断被堵塞的喷嘴的位置，以便及时对堵塞的喷嘴进行疏通，避免产品不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，包括对蒸镀材料进行加热以产生蒸镀气体的坩埚，以及使得蒸镀气体从所述坩埚中喷出的多个喷嘴，其特征在于，所述蒸镀装置还包括与所述喷嘴一一对应、用于监测对应喷嘴是否堵塞的监测感应器。
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