[实用新型]可拆分VGF单晶生长坩埚中环有效
| 申请号： | 201620584182.6 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN205917343U | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 柳廷龙;董汝昆;李武芳;祝永成;何永彬;高云浩;金之生;杨小瑞;权忠朝 | 申请（专利权）人： | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司;云南鑫耀半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/08 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市高新*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 可拆分VGF单晶生长坩埚中环，涉及一种装料装置部件，尤其是一种可拆分VGF单晶生长坩埚中环。可拆分VGF单晶生长坩埚中环，该中环放置于上层坩埚与下层坩埚中间，上层坩埚与下层坩埚放置在石英管内，其特征在于该中环由石英外环、石英斜面和石英横杆组成，石英斜面放置于石英外环内，石英斜面上设置石英横杆,石英横杆抵在石英管管壁上，起固定作用。可拆分VGF单晶生长坩埚中环，设计科学，使用方便，有效降低成本，并且由于石英斜面和石英横杆可以重复利用，大幅提高了单位时间内的加工效率，对企业提高效率、降低成本有重要作用。 | ||
| 搜索关键词： | 拆分 vgf 生长 坩埚 | ||
【主权项】：
可拆分VGF单晶生长坩埚中环，该中环放置于上层坩埚(2)与下层坩埚(3)中间，上层坩埚(2)与下层坩埚(3)放置在石英管(1)内，其特征在于该中环由石英外环(4)、石英斜面(5)和石英横杆(6)组成，石英斜面(5)放置于石英外环(4)内，石英斜面(5)上设置石英横杆(6),石英横杆（6）抵在石英管（1）管壁上，起固定作用。
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