[实用新型]一种蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置有效
| 申请号： | 201620586809.1 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN205741287U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张新峰 | 申请（专利权）人： | 张新峰 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B7/04 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 郑志强 |
| 地址： | 226541 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置，包括反应釜本体、转轴、碳化硅晶体盛放盒、换热器，所述反应釜本体的顶部设置有开口，并在开口上安装有液封盖，所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部，并在转轴前端设置有若干搅拌桨，在搅拌桨的底部再安装有碳化硅晶体盛放盒，所述换热器设置在反应釜本体的侧边，在反应釜本体底部设置有加热管，所述的反应釜本体内设置有温度感应装置。通过装置上设计的转轴带动搅拌桨转动，使得防止在反应釜本体内的水溶液能充分流动，同时使得放置在碳化硅晶体盛放盒内的碳化硅晶体籽料能与水溶液充分接触，且受热均匀，整个装置操作便捷，使用方便，可被进一步推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 孕育 碳化硅 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置，包括反应釜本体、转轴、碳化硅晶体盛放盒、换热器，其特征在于，所述反应釜本体的顶部设置有开口，并在开口上安装有液封盖，所述的转轴贯穿过液封盖设置于反应釜本体内部，并在转轴前端设置有若干搅拌桨，在搅拌桨的底部再安装有碳化硅晶体盛放盒，所述换热器设置在反应釜本体的侧边，在反应釜本体底部设置有加热管，所述的反应釜本体内设置有温度感应装置。
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