[实用新型]固晶机自动吸取晶片结构有效
申请号: | 201620597341.6 | 申请日: | 2016-06-20 |
公开(公告)号: | CN205692815U | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 王毅;丁阳;陈旭俊;马达军 | 申请(专利权)人: | 中山聚昌自动化设备科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/66;H01L21/673 |
代理公司: | 东莞市中正知识产权事务所 44231 | 代理人: | 侯来旺 |
地址: | 528437 广东省中山市火*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种固晶机自动吸取晶片结构,包括支承架,设置在支承架上的导晶通道,在导晶通道的端部设有吸取头,吸取头与导晶通道相连通,在吸取头的内壁上设有吸气嘴,在支承架上设有与吸气嘴相连通的气压通道,在气压通道上设有气流调节阀体,在吸取头与导晶通道的端部之间设有调节臂,在吸取头上设有导晶片感应探头,在支承架上设有与导晶片感应探头相连接的控制器,控制器通过驱动器与调节臂相连接,控制器通过调节电机与气流调节阀体相连接,在支承架上设有与控制器相连接的控制面板。本实用新型的结构简单、操作便捷,采用吸取方式取晶片也不容易损坏晶片,使用稳定性好且适用性强。 | ||
搜索关键词: | 固晶机 自动 吸取 晶片 结构 | ||
【主权项】:
一种固晶机自动吸取晶片结构,包括支承架,设置在所述支承架上的导晶通道,其特征在于:在所述导晶通道的端部设有吸取头,所述吸取头与所述导晶通道相连通,在所述吸取头的内壁上设有吸气嘴,在所述支承架上设有与所述吸气嘴相连通的气压通道,在所述气压通道上设有气流调节阀体,在所述吸取头与所述导晶通道的端部之间设有调节臂,在所述吸取头上设有导晶片感应探头,在所述支承架上设有与所述导晶片感应探头相连接的控制器,所述控制器通过驱动器与所述调节臂相连接,所述控制器通过调节电机与所述气流调节阀体相连接,在所述支承架上设有与所述控制器相连接的控制面板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造