[实用新型]激光辅助放电EUV光源放电系统有效
| 申请号： | 201620599403.7 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN205670231U | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 徐强;赵永蓬;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 胡树发 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 激光辅助放电EUV光源放电系统，涉及极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻光源领域，目的是为了满足Sn介质激光辅助放电等离子体(LDP)EUV光源的发展需要。该放电系统的高压电极与地电极为同轴设置的两个圆盘，多根金属杆位于两个圆盘之间、并且与圆盘的轴线平行，其中一根金属杆固定在高压电极的中心位置，其余的金属杆固定在地电极上，并且以地电极的中心为圆心、沿周向均匀分布，地电极的中心位置开有小孔；Sn靶安装在位于中心位置的金属杆的端部，该金属杆与其余的金属杆之间通过绝缘套隔开。该放电系统结构简单，成本低廉，适用于激光辅助放电等离子体EUV光源。 | ||
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【主权项】：
激光辅助放电EUV光源放电系统，其特征在于，所述放电系统包括Sn靶(1)、绝缘套(2)、高压电极(3)、地电极(4)和多根金属杆(5)；高压电极(3)与地电极(4)为同轴设置的两个圆盘，多根金属杆(5)位于两个圆盘之间、并且与圆盘的轴线平行，其中一根金属杆(5)固定在高压电极(3)的中心位置，其余的金属杆(5)固定在地电极(4)上，并且以地电极(4)的中心为圆心、沿周向均匀分布，地电极(4)的中心位置开有小孔；Sn靶(1)安装在位于中心位置的金属杆(5)的端部，该金属杆(5)与其余的金属杆(5)之间通过绝缘套(2)隔开。
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