[实用新型]一种多边形石墨卡柱有效
申请号: | 201620599799.5 | 申请日: | 2016-06-13 |
公开(公告)号: | CN205670535U | 公开(公告)日: | 2016-11-02 |
发明(设计)人: | 周文娟 | 申请(专利权)人: | 镇江熠阳光伏材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18;C23C16/458;C23C16/513 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种多边形石墨卡柱,包括基柱,基柱顶部和底部分别设有上定位块和下定位块,上定位块与下定位块的内部均设有一多边形装配通道,多边形包括相等且平行设置的第一直边和第二直边以及相等且平行设置的第三直边和第四直边,第一直边与第三直边之间以及第二直边与第四直边之间均设有夹角,第一直边与第三直边之间以及第二直边与第四直边之间均设有一圆弧形边,第一直边与第四直边之间设有第五直边,第二直边与第三直边之间设有第六直边,第五直边与第六直边相等且平行设置。本实用新型防止石墨边掉粉尘,减少对舟片的破损,增加了硅片与石墨定位柱的接触面积且更充分,减少氮化硅的沉积,减少电池色差片,防止烧片。 | ||
搜索关键词: | 一种 多边形 石墨 | ||
【主权项】:
一种多边形石墨卡柱,其特征在于,包括基柱,所述基柱顶部和底部分别设有上定位块和下定位块,所述上定位块与下定位块的内部均设有一多边形装配通道,所述多边形装配通道包括相等且平行设置的第一直边和第二直边以及相等且平行设置的第三直边和第四直边,所述第一直边与第三直边之间以及所述第二直边与第四直边之间均设有夹角,所述第一直边与第三直边之间以及第二直边与第四直边之间均设有一圆弧形边,所述第一直边与第四直边之间设有第五直边,所述第二直边与第三直边之间设有第六直边,所述第五直边与第六直边相等且平行设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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