[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201620603007.7 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN205676528U | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震;黄俊杰;张健;周猛 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 017000 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜板，该掩膜板包括图形部分和边框部分，还包括：切割线结构，所述切割线结构作为所述图形部分和所述边框部分的分界线，沿着所述切割线结构的延伸方向，所述掩膜板能够被折断；未刻蚀部分，位于所述切割线结构的至少一个端部区域或中间区域，所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值。通过本实用新型，达到了有效地缓解手动折断掩膜板而产生的边缘褶皱或翘起的发生的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括图形部分和边框部分，其特征在于，还包括：切割线结构，所述切割线结构作为所述图形部分和所述边框部分的分界线，沿着所述切割线结构的延伸方向，所述掩膜板能够被折断；未刻蚀部分，位于所述切割线结构的至少一个端部区域或中间区域，所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值。
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