[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 201620606405.4 | 申请日: | 2016-06-20 |
公开(公告)号: | CN205711031U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 惠梦君 | 申请(专利权)人: | 无锡市蓝德光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;徐鹏飞 |
地址: | 214174 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉,包括炉体,所述炉体设置有炉腔,所述炉腔内设置有石英钳锅,所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅,所述石墨钳锅的外部设置有加热器,所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒,所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部,所述导流筒的上部设置有水冷套,所述水冷套的下端延伸至导流筒内,水冷套的外部设置有保温隔热装置。所述一种单晶炉通过在水冷套外部增设保温隔热装置,进而隔断了水冷套与外部的热交换,与此同时,水冷套内部可与硅单晶进行换热,对硅单晶进行冷却,从而可大大提高硅单晶的提拉速度,提高生产效率,结构简单、易于实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种单晶炉,其特征在于:包括炉体,所述炉体设置有炉腔,所述炉腔内设置有石英钳锅,所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅,所述石墨钳锅的外部设置有加热器,所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒,所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部,所述导流筒的上部设置有水冷套,所述水冷套的下端延伸至导流筒内,水冷套的外部设置有保温隔热装置。
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