[实用新型]曝光装置有效
| 申请号： | 201620608378.4 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN205721073U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宁鹏飞 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种曝光装置，所述曝光装置包括：分光装置，所述分光装置具有一个或者多个入射口以及多个出射口；及一盏曝光灯，所述曝光灯位于所述分光装置的入射口一侧。在本申请提供的曝光装置中仅采用一盏曝光灯，由此便可避免照度不均的问题，从而也就能避免边缘光刻胶的曝光程度不同的问题，即能够提高曝光效果。同时，在本申请提供的曝光装置中，通过分光装置能够将一个入射光分成多个出射光，由此，同样能够实现通过一次曝光工艺，便使得一整个条形区域的边缘光刻胶进行曝光。同时，本申请提供的曝光装置还能节约曝光灯的更换时间，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置包括：分光装置，所述分光装置具有一个或者多个入射口以及多个出射口；及一盏曝光灯，所述曝光灯位于所述分光装置的入射口一侧。
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