[实用新型]一种矩形线性渐变滤光片的生产装置

摘要

本实用新型涉及一种矩形线性渐变滤光片的生产装置，它是将用来制作滤光片的玻璃基材固定在圆形平板状且能绕自身中心轴旋转的工件盘的下表面上，使玻璃基材的镀膜面朝下，在工件盘下方设置蒸发源底板和位于蒸发源底板上表面的蒸发源，工件盘带动玻璃基材旋转过程中，通过蒸发源蒸发的膜料来对玻璃基材的镀膜面进行镀膜。该实用新型克服了使用现有矩形线性渐变滤光片的生产装置制备矩形线性渐变滤光片的过程中由于采用经多次人工经验调整的一块修正片而导致的生产工序繁杂、所制矩形线性渐变滤光片精度不佳、质量不稳定的缺点，具有能够大大简化膜厚修正工序、节约试镀时间、提高矩形线性渐变滤光片的精度和质量稳定性的优点。

主权项

一种矩形线性渐变滤光片的生产装置，包括工件盘(1)、玻璃基材(3)、蒸发源(5)和蒸发源底板(4)；所述工件盘(1)为圆形平板状且能绕自身中心轴旋转；镀膜时，玻璃基材(3)固定在该工件盘(1)的下表面上，玻璃基材(3)的镀膜面朝下，蒸发源底板(4)设于工件盘(1)下方，蒸发源(5)位于该蒸发源底板(4)的上表面上；其特征在于：①所述的玻璃基材(3)为矩形玻璃基材；②所述生产装置还包括至少一组修正片a(21)和修正片b(22)，根据所镀膜层的不同选择对应组的修正片a(21)和修正片b(22)，所述每组修正片a(21)和修正片b(22)对称设置于工件盘(1)的中心轴径向两侧并位于玻璃基材(3)和蒸发源(5)之间；工件盘(1)带动玻璃基材(3)旋转时，当玻璃基材(3)分别经过修正片a(21)和修正片b(22)位置时，修正片a(21)和修正片b(22)能对蒸发源(5)蒸发膜料部分遮挡以调整该镀膜层在镀膜面上的膜料分布；所述修正片a(21)是由理论修正片a修正而得；修正片a(21)上对应玻璃基材(3)镀膜面的最内端、正中和最外端位置所在工件盘(1)下表面圆周位置的圆弧弧长分别用aM、ao、am代表；通过设定am值和以下公式计算出理论修正片a的aM和ao理论值，所述am值为工件盘(1)半径大小的5‑10％：tstos=(h2+L2)2(h2+L2+r2)[(h2+r2+L2)2-4L2r2]3/2,]]>tsm×(2πrm‑am)＝tso×(2πro‑ao)＝tsM×(2πrM‑aM)；其中，h为工件盘(1)圆心到蒸发源底板(4)的垂直高度，L为蒸发源(5)与工件盘(1)圆心在蒸发源底板(4)的垂直投影点之间的垂直距离，r为工件盘(1)圆心到膜料沉积在工件盘(1)上的沉积测试点A的半径，ts为膜料沉积在工件盘(1)上的沉积测试点A的膜厚，tos表示膜料沉积在工件盘(1)中心的膜厚，ts/tos表示沉积测试点A与中心点膜厚比值，tsM、tso、tsm分别为膜料沉积在玻璃基材(3)镀膜面的最内端、正中和最外端位置这3个点的膜厚；rM、ro、rm分别表示工件盘(1)圆心到膜料沉积在玻璃基材(3)镀膜面的最内端、正中和最外端位置的半径；修正片a(21)的aM、ao和am的实际值是在通过玻璃基材(3)镀膜面上试镀上一层厚度为250‑300nm的所镀材料膜并依据沿工件盘直径方向测定每个镀膜沉积测试点的透过率来对理论修正片a的aM、ao和am理论值进行修正而得，修正过所得的修正片a(21)能使得所镀膜层的厚度一致；所述修正片b上对应玻璃基材(3)镀膜面的最内端、正中和最外端位置所在工件盘(1)下表面圆周位置的圆弧弧长分别为bM、bo、bm，该bM、bm、bo值由公式和计算得到；其中，aM、am、ao采用修正片a(21)的实际值，λM、λo、λm分别为膜系设计要求的对应玻璃基材(3)最内端、正中和最外端位置的透过率对应的波长。