[实用新型]基板检测设备有效
| 申请号： | 201620612555.6 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN205749309U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 廖怀宝 | 申请（专利权）人： | 深圳市振华兴科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/956 |
| 代理公司： | 深圳瑞天谨诚知识产权代理有限公司 44340 | 代理人： | 李秀娟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板检测设备，包括：传输机构，用于传输基板；成像机构，与所述传输机构相向设置，用于在特定位置以一次拍照的方式对所述传输机构上输送的所述基板进行拍摄生成完整图像；控制机构，与所述成像机构电连接，用于控制所述成像机构的拍摄并对拍摄出的所述完整图像进行存储、分析进而诊断出所述基板的缺陷；所述成像机构包括相向所述传输机构设置的高像素相机和安装于所述高像素相机的高分辨率工业镜头，所述高像素相机与所述控制机构电连接受所述控制机构控制。通过上述实施方式，能够在基板输送过程中自动完成缺陷检测，不需要传输机构停板检测，不需要对基板进行固定，且一次成像检测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种基板检测设备，其特征在于，包括：传输机构，用于传输基板；成像机构，与所述传输机构相向设置，用于在特定位置以一次拍照的方式对所述传输机构上输送的所述基板进行拍摄生成完整图像；控制机构，与所述成像机构电连接，用于控制所述成像机构的拍摄并对拍摄出的所述完整图像进行存储、分析进而诊断出所述基板的缺陷；其中，所述成像机构包括相向所述传输机构设置的高像素相机和安装于所述高像素相机的高分辨率工业镜头，所述高像素相机与所述控制机构电连接受所述控制机构控制。
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