[实用新型]直拉单晶炉及其导流筒结构有效
申请号: | 201620615579.7 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN205974746U | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 陈伟;陈林军;罗才军;肖贵云;李林东;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种直拉单晶炉及其导流筒结构,导流筒结构包括内导流筒(4)及设置于所述内导流筒(4)的外侧的外导流筒(6);所述内导流筒(4)及所述外导流筒(6)均为石墨导流筒;所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)之间设置有石墨纸(8)。本实用新型提供的导流筒结构,内导流筒与外导流筒之间设置有石墨纸,由于石墨纸的表面光滑,对热量具有极高的反射率。因此,在热量沿内导流筒及外导流筒传递时,受到石墨纸的反射,提高了导流筒结构对热量的反射率,降低了内导流筒温度升高的几率,进而降低了内导流筒向晶棒发射的热量,进而提高了晶棒的生长速率,降低了单晶硅的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 直拉单晶炉 及其 导流 结构 | ||
【主权项】:
一种导流筒结构,其特征在于,包括内导流筒(4)及设置于所述内导流筒(4)的外侧的外导流筒(6);所述内导流筒(4)及所述外导流筒(6)均为石墨导流筒;所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)之间设置有石墨纸(8);所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)的顶部均具有与直拉单晶炉连接的连接部;所述内导流筒(4)的连接部与所述外导流筒(6)的连接部之间设置有固定毡条(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司,未经晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620615579.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。