[实用新型]直拉单晶炉及其导流筒结构有效

专利信息
申请号: 201620615579.7 申请日: 2016-06-21
公开(公告)号: CN205974746U 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 陈伟;陈林军;罗才军;肖贵云;李林东;金浩 申请(专利权)人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 李海建
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种直拉单晶炉及其导流筒结构,导流筒结构包括内导流筒(4)及设置于所述内导流筒(4)的外侧的外导流筒(6);所述内导流筒(4)及所述外导流筒(6)均为石墨导流筒;所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)之间设置有石墨纸(8)。本实用新型提供的导流筒结构,内导流筒与外导流筒之间设置有石墨纸,由于石墨纸的表面光滑,对热量具有极高的反射率。因此,在热量沿内导流筒及外导流筒传递时,受到石墨纸的反射,提高了导流筒结构对热量的反射率,降低了内导流筒温度升高的几率,进而降低了内导流筒向晶棒发射的热量,进而提高了晶棒的生长速率,降低了单晶硅的生产成本。
搜索关键词: 直拉单晶炉 及其 导流 结构
【主权项】:
一种导流筒结构,其特征在于,包括内导流筒(4)及设置于所述内导流筒(4)的外侧的外导流筒(6);所述内导流筒(4)及所述外导流筒(6)均为石墨导流筒;所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)之间设置有石墨纸(8);所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)的顶部均具有与直拉单晶炉连接的连接部;所述内导流筒(4)的连接部与所述外导流筒(6)的连接部之间设置有固定毡条(3)。
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