[实用新型]干刻蚀装置的下部电极和干刻蚀装置有效
| 申请号： | 201620616765.2 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN205789866U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 程志浩 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司31264 | 代理人： | 蔡光仟 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种干刻蚀装置的下部电极和干刻蚀装置，其中所述下部电极包括电极底板以及位于所述电极底板上的绝缘层，所述绝缘层内嵌入有金属网。本实施例提供的干刻蚀装置的下部电极和干刻蚀装置，通过在下部电极的绝缘层内嵌入设置金属网，通过金属网将热量在下部电极内均匀传导，使下部电极的整个表面温度更加均匀，改善了刻蚀均一性，提高了基板刻蚀的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 装置 下部 电极 | ||
【主权项】：
一种干刻蚀装置的下部电极(10)，包括电极底板(11)以及位于所述电极底板(11)上的绝缘层(13)，其特征在于，所述绝缘层(13)内嵌入有金属网(14)。
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