[实用新型]一种碳化硅单晶炉用压力控制系统有效
| 申请号： | 201620617657.7 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN205856656U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙)32208 | 代理人： | 丁骞 |
| 地址： | 214264 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种碳化硅单晶炉用压力控制系统，它包括反应室，在所述反应室一侧设有充气管路，另一侧设有主抽气管路和压力控制管路，在所述充气管路上设有充气阀和质量流量控制器，在所述主抽气管路上设有第一机械泵和第一抽气阀，在所述主抽气管路上设有分抽气管路，在所述分抽气管路上设有分子泵和第二抽气阀，在所述压力控制管路上设有压力传感器、压力控制阀、PID控制电路和第二机械泵，所述分抽气管路与压力控制管路相连。本实用新型控制精确，运行平稳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 单晶炉用 压力 控制系统 | ||
【主权项】：
一种碳化硅单晶炉用压力控制系统，其特征在于：它包括反应室（1），在所述反应室（1）一侧设有充气管路（2），另一侧设有主抽气管路（3）和压力控制管路（4），在所述充气管路（2）上设有充气阀（5）和质量流量控制器（6），在所述主抽气管路（3）上设有第一机械泵（7）和第一抽气阀（8），在所述主抽气管路（3）上设有分抽气管路（9），在所述分抽气管路（9）上设有分子泵（10）和第二抽气阀（11），在所述压力控制管路（4）上设有压力传感器（12）、压力控制阀（13）、PID控制电路（14）和第二机械泵（15），所述分抽气管路（9）与压力控制管路（4）相连。
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