[实用新型]一种大束流离子注入装置

摘要

本实用新型公开了一种大束流离子注入装置，依次包括加速电极、吸出电极、抑制电极和接地电极，其中吸出电极与抑制电极之间设有一用于二次调节注入离子束能量大小的能量调节电极，可使得加速电极与吸出电极之间形成一恒定工作电压。由于离子束能量不再单独由设备的加速电极决定，可通过采用适合且恒定不变的加速电极和吸出电极电压，从离子源萃取出较大密度的离子束，再通过能量调节电极来确定最终注入能量。因此本实用新型通过对能量调节电极进行能量调节，实现多种能量的大束流注入，能够实现低能量大束流的离子束注入，增大了离子注入机的产能。

主权项

一种大束流离子注入装置，依次包括加速电极(1)、吸出电极(2)、抑制电极(3)和接地电极(4)，其特征在于，所述吸出电极(2)与抑制电极(3)之间设有一用于二次调节注入离子束(7)能量大小的能量调节电极(5)，可使得所述加速电极(1)与所述吸出电极(2)之间形成一恒定工作电压。