[实用新型]RFMEMS滤波器有效
| 申请号： | 201620626816.X | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN205901698U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张树民 | 申请（专利权）人： | 张树民 |
| 主分类号： | H03H9/46 | 分类号： | H03H9/46 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所11308 | 代理人： | 叶凡,秦力军 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种RF MEMS滤波器，包括硅衬底；锚固在所述硅衬底上的悬空臂，用于与所述硅衬底共同形成悬空声波腔，实现FBAR滤波；设置在所述硅衬底上的用于驱动所述悬空臂倾斜角度变化的驱动器，通过驱动所述悬空臂倾斜角度变化，使所述悬空声波腔的腔体变化，从而调整FBAR谐振频率。本实用新型使用水平多层悬空臂和悬空声波结构解决了困扰着MEMS FBAR领域的衬底损耗问题和空腔设计的实现工艺问题。并且可以通过不同倾斜角的控制，获得体腔的变化，从而改变谐振频率。 | ||
| 搜索关键词： | rfmems 滤波器 | ||
【主权项】：
一种RF MEMS滤波器，其特征在于，包括：硅衬底；锚固在所述硅衬底上的悬空臂，用于与所述硅衬底共同形成悬空声波腔，实现FBAR滤波；设置在所述硅衬底上的用于驱动所述悬空臂倾斜角度变化的驱动器，通过驱动所述悬空臂倾斜角度变化，使所述悬空声波腔的腔体变化，从而调整FBAR谐振频率；其中，所述RF MEMS是射频微机械系统，所述FBAR是薄膜体声波谐振器。
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