[实用新型]扩散石英舟有效
申请号: | 201620628027.X | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN205692810U | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 和江变;邹凯;周国华;马承鸿;李健 | 申请(专利权)人: | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 阚梓瑄;乔彬 |
地址: | 010111 内蒙古*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开一种扩散石英舟,该扩散石英舟包括顶板和底板、至少一根后固定杆以及多根侧支撑杆;顶板和底板上下间隔相对设置;至少一根后固定杆竖直支撑于顶板后侧与底板后侧之间,后固定杆朝向顶板的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第一卡槽;多根侧支撑杆包括至少一根左侧支撑杆及至少一根右侧支撑杆,左侧支撑杆竖直支撑于顶板左侧与底板左侧之间;右侧支撑杆竖直支撑于顶板右侧与底板右侧之间,侧支撑杆朝向顶板的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第二卡槽;其中,多个第一卡槽与多个第二卡槽共同界定出上下间隔分布的多个放置空间,以分别放置多块硅片。本实用新型对扩散方阻的均匀性有较大的改善,同时提高了电池片的转换效率。 | ||
搜索关键词: | 扩散 石英 | ||
【主权项】:
一种扩散石英舟(300),用于放置多块硅片,其特征在于,所述扩散石英舟(300)包括:顶板(310)和底板(320),上下间隔相对设置;至少一根后固定杆(330),竖直支撑于所述顶板(310)后侧与所述底板(320)后侧之间,所述后固定杆(330)朝向所述顶板(310)的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第一卡槽(3301);以及多根侧支撑杆,包括至少一根左侧支撑杆(341)及至少一根右侧支撑杆(342),所述左侧支撑杆(341)竖直支撑于所述顶板(310)左侧与所述底板(320)左侧之间;所述右侧支撑杆(342)竖直支撑于所述顶板(310)右侧与所述底板(320)右侧之间,所述侧支撑杆朝向所述顶板(310)的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第二卡槽(3401);其中,所述多个第一卡槽(3301)与所述多个第二卡槽(3401)共同界定出上下间隔分布的多个放置空间,以分别放置所述多块硅片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造