[实用新型]一种简易单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种简易单晶炉，包括立式管式炉和步进控制系统，立式管式炉包括控温部件、加热部件、石英锥管、石英托、真空泵；石英托设置有容纳石英锥管的孔，石英锥管穿插在石英托设置的孔上，真空泵通过与连熔炉管的一端法兰相连，另一端法兰与其他保护气体相连(如氩气、氮气)，使连熔炉管内部环境保持非空气环境，也保持石英锥管外部环境为其非空气环境。本实用新型提供的简易单晶炉制作成本低，大约￥5000～50000左右，占地面积少，节约空间；本实用新型简易单晶炉的生长单晶基本原理是布立基曼法，通过本实用新型生产出多种大块单晶，其效果比专业的此类单晶炉效果优良。

主权项

一种简易单晶炉，其特征在于，所述的简易单晶炉包括立式管式炉和步进控制系统，所述立式管式炉包括立柱板、炉膛、连熔炉管、石英锥管、石英托、吊绳、控温部件、加热部件、真空泵；所述炉膛固定在立柱板中部，所述控温部件和加热部件均安装在炉膛内壁上，连熔炉管通过固定装置固定在炉膛中央并悬空，石英锥管、石英托均通过吊绳吊在连熔炉管内，所述石英托设置有容纳石英锥管的孔，石英锥管穿插在石英托设置的孔上，所述真空泵一端与连熔炉管相连并且另一端与外部保护气体装置相连；所述外部保护气体装置盛有氩气或氮气保护气体；所述步进控制系统包括立式管式炉底座、步进电机、导轨、单轴控制器、步进驱动器、步进电源；所述步进控制系统底座位于立柱板下部，所述步进电机连接在与导轨上部，所述导轨位于的炉膛上部，步进驱动器、步进电源均位于立式管式炉底座内部，单轴控制器位于立式管式炉底座外部；所述单轴控制器与步进驱动器、步进电源、步进电机连接，控温部件和加热部件电连接。