[实用新型]一种单晶硅生长炉的加料器有效

专利信息
申请号: 201620630703.7 申请日: 2016-06-23
公开(公告)号: CN205741273U 公开(公告)日: 2016-11-30
发明(设计)人: 周小勇 申请(专利权)人: 扬州合晶科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 赵秀斌
地址: 225000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种单晶硅生长炉的加料器,包括加料管和长杆,所述加料管的下端设有投料口并置于所述生长炉中,所述加料管内部轴线位置处具有供所述长杆上下运动的通管,所述加料管在所述投料口的上方具有向内收缩的颈部,所述长杆的下端具有一锥体状的闭口部,所述闭口部置于所述颈部与所述投料口之间并可随所述长杆的上下运动与所述颈部卡接或分离。本实用新型可以在单晶硅的生产过程中,不断向坩埚中加入硅原料以增加单次开炉的总投料量,从而可以大大降低生产成本。同时,本实用新型的加料器与单晶硅原料直接接触的部分均采用石英材料,避免了单晶硅原料的污染。
搜索关键词: 一种 单晶硅 生长 料器
【主权项】:
一种单晶硅生长炉的加料器,其特征在于,包括加料管和长杆,所述加料管的下端设有投料口并置于所述生长炉中,所述加料管内部轴线位置处具有供所述长杆上下运动的通管,所述加料管在所述投料口的上方具有向内收缩的颈部,所述长杆的下端具有一锥体状的闭口部,所述闭口部置于所述颈部与所述投料口之间并可随所述长杆的上下运动与所述颈部卡接或分离。
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