[实用新型]一种液相生长碳化硅籽晶轴装置有效
| 申请号： | 201620630939.0 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN206052202U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 朱灿;王晓;宋建 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及SiC生产技术领域，具体为一种液相生长碳化硅籽晶轴装置。该装置包括石墨轴和石墨棒两部分，籽晶粘贴在石墨棒上，石墨棒和石墨轴固定连接在一起。制作好的籽晶轴在石墨棒上，当取下时即将石墨棒取下即可，不会造成对石墨轴的污染，节约了石墨轴经常更换的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相生 碳化硅 籽晶 装置 | ||
【主权项】：
一种液相生长碳化硅籽晶轴装置，其特征在于，包括石墨轴和石墨棒两部分，石墨轴和石墨棒通过有效连接方式，同轴地连接在一起；所述的石墨轴和石墨棒通过螺纹连接在一起，具体为在石墨轴(4)的头部设置有内螺纹(1)；在石墨棒(3)的尾部设置有外螺纹(2)，内螺纹(1)和外螺纹(2)相对应；粘贴籽晶的石墨棒，尺寸如下：直径大于等于籽晶直径，长度由2cm～10cm，材质与石墨轴相同，均为高纯石墨材质，使用螺纹连结的情况，螺纹间距为1mm～3mm。
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