[实用新型]一种适用于板式PECVD的石墨框及承载装置

摘要

本实用新型公开了一种适用于板式PECVD的石墨框及承载装置。该适用于板式PECVD的石墨框包括内部中空且呈方形的石墨边框，所述石墨边框的至少一对相对的边框的内侧中部均设置有挂钩，所述石墨边框的四个边框内侧均沿对应边框的长度方向均设置有石墨挡板，所述石墨挡板的底端向所述石墨边框的内部倾斜设置；多个所述石墨挡板在所述石墨边框的内侧围成上大下小的锥形结构，该锥形结构的底面开口略大于硅片的尺寸；承载硅片时，所述硅片的至少一对相对的侧边分别挂设在对应侧的所述挂钩上，且所述锥形结构位于所述硅片的上方。该适用于板式PECVD的石墨框及承载装置，能够有效减少绕射，降低因绕射造成的背电场脱落以及漏电现象。

主权项

一种适用于板式PECVD的石墨框(10)，包括内部中空且呈方形的石墨边框(1)，其特征在于，所述石墨边框(1)的至少一对相对的边框的内侧中部均设置有挂钩(3)，所述石墨边框(1)的四个边框内侧均沿对应边框的长度方向均设置有石墨挡板(5)，所述石墨挡板(5)的底端向所述石墨边框(1)的内部倾斜设置；多个所述石墨挡板(5)在所述石墨边框(1)的内侧围成上大下小的锥形结构，该锥形结构的底面开口略大于硅片的尺寸；承载硅片(2)时，所述硅片(2)的至少一对相对的侧边分别挂设在对应侧的所述挂钩(3)上，且所述锥形结构位于所述硅片(2)的上方。